SEMI E30标准解析（二）_GEM三大控制状态——谁在控制设备？
一.为什么需要三种状态？
在进入细节之前，先问一个问题：为什么不只用「在线」和「脱机」两种状态就好？
原因是设备在工厂里会经历不同的生命周期阶段：
阶段 | 控制需求 |
🔧维修保养 | 设备正在被维修人员拆解检修，绝对不能让主机下达生产指令 |
🧪调机测试 | 工程师站在设备前手动操作、验证新制程，主机只需要监看数据 |
🏭正式量产 | 设备全自动运作，由MES系统完全控制，不需人工介入 |
不同情境需要不同的控制权限——这就是 GEM 设计三种状态的原因。
二.三种状态总览
状态 | 谁在控制？ | 主机可以做什么？ | HOST主机不能做什么？ |
OFFLINE（脱机） | 无人控制 | 只能做基本通讯确认（S1F13/S1F14） | 不能查数据、不能下指令 |
ONLINE LOCAL（本地） | 操作员（设备面板） | 查数据、收警报、收事件 | 制程中不能做: |
ONLINE REMOTE（远程） | 主机（MES/EAP） | 查数据、收警报、收事件、下远程命令 | （无限制，完全控制） |
2.1OFFLINE（脱机）——飞航模式
定义
设备处于脱机状态时，虽然与主机之间有实体联机，但不接受任何操作指令。
什么时候使用？
- 设备正在进行维修、保养、校准
- 设备刚开机、尚未完成初始化
- 设备正在进行自我检测
HOST主机可以做什么？
- ✅ 发送 S1F13（Are You There？）确认设备是否在线
- ✅ 接收 S1F14（Yes, I Am）确认设备回应
HOST主机不能做什么？
- ❌ 不能查询任何设备数据（温度、压力等）
- ❌ 不能下达任何操作指令（开始、停止等）
- ❌ 不能上传或下载配方
2.2ONLINE LOCAL（本地）——手动模式
定义
设备处于在线本地状态时，控制权在操作员手上，由设备面板进行操作。完全禁止HOST主机下达会导致物理动作或启动制程的远端命令。
什么时候使用？
- 工程师在现场进行调机、试跑
- 新制程的验证与测试
- 需要人工判断与介入的特殊情况
HOST主机可以做什么？
- ✅ 查询状态变量（温度、压力、转速等）
- ✅ 接收设备发送的警报通知
- ✅ 接收设备发送的事件报告
- ✅ 查询设备常数与数据变量
HOST主机不能做什么？
若是在制程中不能做以下事项：
- ❌ 不能下达任何会影响当前制程的命令
- ❌ 不能修改任何会影响当前制程作业中的设备常数
2.3ONLINE REMOTE（远程）——自动模式
定义
设备处于在线远程状态时，控制权完全交给主机，由 MES 或 EAP 系统自动指挥设备运作。
什么时候使用？
- 设备正式投入量产
- 全自动化生产线的日常运作
- 无人化工厂（Light-out Factory）的目标状态
HOST主机可以做什么？
- ✅ 查询所有设备数据（SV / EC / DV）
- ✅ 接收所有警报和事件通知
- ✅ 下达所有远程命令（START / STOP / PAUSE / RESUME / ABORT）
- ✅ 上传与下载配方
- ✅ 完整的设备控制权
三.篇章总结
记忆点 | 说明 |
✅三种状态对应三种情境 | OFFLINE=维修／LOCAL=调机／REMOTE=量产 |
✅状态由操作员控制 | 透过设备面板切换，主机不能强制改变 |
✅LOCAL ↔ REMOTE 不能直切 | 必须先回到OFFLINE再切换 |