36：机台对接典型场景2：下发生产任务

36：机台对接典型场景2：下发生产任务

一、本课学习目标

1. 掌握MES→EAP→机台全流程工单下发时序与交互逻辑
2. 理清Lot信息、Recipe绑定、参数校验整套执行步骤
3. 熟记各环节对应的SECS消息与前置条件
4. 学会定位工单下发失败、配方不匹配、参数报错等问题
5. 规范量产环境任务下发操作与防错要点

二、前置基础条件

1. 通信与模式要求

• 设备已完成开机联网，HSMS/SECS链路正常 ONLINE
• 设备切换至REMOTE 远程模式，EAP具备控制权
• 机台状态为IDLE 空闲，无激活报警、安全联锁全部复位

2. 数据准备

• MES下发工单：包含Lot ID、FOUP编号、目标Recipe名称、产品信息、工艺参数
• EAP本地已完成对应CEID、ALID、Trace点位订阅

三、生产任务完整下发流程

步骤1：MES推送工单数据至EAP

MES将批次信息、配方名称、生产参数下发，EAP接收并暂存，完成基础校验。

步骤2：EAP查询机台配方清单 S7F1/S7F2

• EAP发送S7F1请求查询本机全部Recipe列表
• 设备返回S7F2，反馈机台现有配方名称
• 目的：核对目标Recipe是否已存在于设备本地

步骤3：配方下载（按需执行）S7F3/S7F4

1. 配方不存在 / 版本不一致：EAP通过S7F3下发完整配方参数
2. 设备接收后返回S7F4，反馈下载成功/失败及原因
3. 配方已存在且版本一致：直接跳过下载环节

步骤4：配方激活 S7F17/S7F18

• EAP下发S7F17指令激活目标Recipe
• 设备S7F18返回激活结果
• 激活成功后，配方进入就绪状态，可启动工艺

步骤5：绑定Lot与载料准备

EAP同步Lot号、FOUP信息至设备，校验Load Port物料信号正常，进入待上料状态。

步骤6：上报任务就绪事件 S6F13

机台触发对应CEID事件，上报EAP，同步至MES：当前工单准备完成，可开始生产。

步骤7：等待启动指令

整套任务下发完成，机台保持READY状态，等待EAP下发Start指令执行工艺。

四、关键SECS消息汇总

1. S7F1/S7F2：查询机台配方目录
2. S7F3/S7F4：Recipe配方下载
3. S7F17/S7F18：配方激活
4. S6F13：任务就绪、Lot相关事件上报

五、任务下发常见故障与排查

故障1：MES工单无法推送到EAP

排查EAP与MES接口服务、网络、通信配置，确认接口链路正常。

故障2：S7F3配方下载失败

1. 机台处于LOCAL/OFFLINE/RUN状态，权限/状态不满足
2. 配方参数越限、名称含非法字符、格式不兼容
3. 设备存储空间不足

故障3：配方下载成功，S7F17激活失败

1. 机台存在未清除报警、安全联锁触发
2. 配方内部参数缺失、配置不完整
3. 当前配方被占用，无法重复激活

故障4：工单绑定异常，Lot信息不匹配

1. FOUP信号未检测到，Load Port无物料
2. EAP批次信息解析错误、字段缺失

六、量产防错管控要点

1. 严格遵循：IDLE + REMOTE + 无报警 再下发工单
2. 新配方必须执行下载+参数比对，确认一致再激活投产
3. 同一机台禁止并行下发多个工单，避免数据错乱
4. 全流程日志留存，方便异常批次追溯

七、本课核心总结

1. 任务流向：MES工单 → EAP校验 → 查配方 → 下载配方 → 激活配方 → 就绪待生产
2. 核心报文集中在S7系列，完成配方全生命周期管理
3. 下发失败优先检查：设备模式、运行状态、激活报警
4. 配方版本比对是防止错料、错工艺的关键环节
5. 任务就绪后机台进入READY状态，等待Start指令启动加工

八、课后小作业

1. 简述生产任务下发完整七大步骤
2. 查询机台配方列表使用哪条SECS消息？
3. S7F17激活失败常见三点原因？
4. 配方已存在时，是否还需要执行下载操作？
5. 工单下发完成后机台进入什么状态？